二手 CSK HEATS-05 #9278131 待售

CSK HEATS-05是一種晶圓和掩模洗滌器，常用於半導體制造，包括光刻、蝕刻和沈積。該洗滌器設計用於清洗和清潔芯片制造中使用的加工設備。它是一種采用電解清洗技術的再循環流動床洗滌器，承諾高效清潔，盡量減少化學品、水和磨砂材料的消耗。這一過程是在密封室內進行的，能夠清除有機汙染物、粉塵顆粒和爐渣以及其他生產房屋殘留物。清洗室分為三個不同的區域：第一個區域是要清洗的晶片、口罩或其他材料的進入；第二個區域是處理要清洗的材料；第三種是儲存和回收過程介質（通常是去離子水溶液）的水箱和過濾器單元。該選項中使用的清潔劑是硼氫化鈉和表面活性劑的混合物，其分解並松開附著在底物表面的顆粒或粉塵。清潔液通過刷輥洗滌器循環，基板暴露一定時間，以確保完全表面清潔，空氣中的溫度達到80攝氏度。清洗過程完成後，再將基材沖洗幹燥。HEATS-05專為重型全天候清潔工藝而設計，適用於高產能芯片制造。它具有較高的速度和效率,以及較低的噪音和振動水平.洗滌器裝有嵌入式控制系統，使洗滌和洗滌過程自動化。此外，該設備具有監測時間、攪拌水平、溫度和清潔劑濃度等參數的能力，由傳感器系統和專用控制軟件進行監測。CSK HEATS-05的整體設計可靠、堅固,即使在惡劣的生產環境下也註重一致、高效的運行。該裝置方便用戶，可調整用戶，便於清潔機器優化，對清潔過程提供更大的靈活性和更好的控制。該工具還配備了不間斷清潔安全功能，以確保安全操作。總體而言，HEATS-05為生產半導體芯片所需的各種晶圓和掩模清潔要求提供了高效、安全和可靠的清潔資產，提供了高度的可靠性、一致性和成本效益。