二手 DAITRON DSC-100CV #9294598 待售

ID: 9294598
Wafer scrubber.
DAITRON DSC-100CV是專門為半導體工業設計的自動化晶圓和掩模洗滌器。它是一種高度可靠、精密的晶片/掩模清潔設備,提供最高水平的表面清潔質量性能。洗滌器采用機器人濕洗和幹洗相結合的方式,對矩形和方形晶片及掩模表面進行高效、精確和高性能的清洗。洗滌器采用了一種帶有A/D轉換器平臺的註冊、積分運動算法,使系統穩健穩定。晶圓清潔頭包括一個帶有四個可調節旋轉刷頭的旋轉頭,以及兩個可調節的擺動刷頭和兩個可調節的垂直移動刷頭。洗滌器還具有一個高性能的氣動夾具單元,用於處理直徑達200毫米的晶片。此外,洗滌器還裝有一個雙面、高度可靠的磁盤,用於從晶圓和掩模的兩側清除微粒。磁碟由高速步進馬達供電,可控制清潔性能的速度和強度。洗滌器配備了一系列確保安全穩定運行的安全功能,包括E-stop按鈕、壓力和溫度傳感器以及安全互鎖機構。它還包括集成的視覺和音頻警報,以及用於提醒操作員潛在問題的定向輕型機器。洗滌器還具有用戶友好、直觀的界面,便於操作和調整不同類型的晶圓和面膜清洗。它的內置通信接口還允許連接到外部計算機以進行數據記錄和監視。洗滌器只需要極少的維護,操作效率高、可靠。綜上所述,DSC-100CV是一種高度可靠、精密的晶圓和掩模洗滌器,為半導體行業提供最高水平的清潔性能。它設計為直觀高效,具有一系列安全功能和用戶友好界面,易於操作和配置。
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