二手 DAS ESCAPE #9300744 待售

DAS ESCAPE是一種晶圓和掩模洗滌器，旨在保持半導體制造中盡可能高的清潔水平。特別適用於蝕刻後和光刻後濕清洗工藝。ESCAPE有一個符合人體工程學的設計，可以將它整合到現有的生產線中。洗滌器配有通電的磨砂刷，可針對各種清潔任務進行調節。晶片可以通過三種方式之一加載到洗滌器中-通過盒式磁帶、盒式磁帶機架或手動方式。當兩個刷子開始向前和向後獨立旋轉時,兩步批清理周期開始。這就產生了施加到晶片上的旋轉沖擊，產生了非常適合清除汙垢和碎屑的高擦洗力。DAS ESCAPE是完全自動化的,具有可編程的畫筆旋轉參數選擇以及提供清潔參數讀數和過程結束警報的過程控制器。晶片盒式磁帶會自動建立索引,以便正確定位,並且洗滌器一次可清理多達100個晶片。此外,洗滌器還設有一個大窗口,便於在過程中監控零件。洗滌器還配備了不平衡載荷檢測器、防濺板等安全功能，防止飛濺，以及室門互鎖，防止清潔過程中進入旋轉的刷子。洗滌器還依靠多種標準過濾器和凈化空氣，有效地從清潔過程中捕獲顆粒，確保洗滌器中的空氣清潔。ESCAPE易於維護，只需要定期更換磨砂刷和過濾器。磨砂刷的設計可持續多次清潔周期，過濾器設計為在發生汙染時易於更換。洗滌器還支持快速的坡道上升時間，以減少清潔周期之間的停機時間，並且設計為滿足最高的清潔標準。