二手 DAS V01.0082 #293627092 待售

DAS V01.0082是一種晶圓和掩模洗滌器，旨在幫助半導體制造的生產過程。它是一個自動化系統，一次最多可處理四個8英寸晶圓和一個5英寸的掩模。洗滌器采用陽極氧化鋁和不銹鋼制成，具有獨特的弧形設計，可實現光滑、均勻的清洗工藝。洗滌器設計有一個組織托盤，可容納多達四個8英寸晶圓和一個5英寸面罩。它有兩個可調燈進行檢查和無檢查操作。還有兩種不同的控制面板：一種用於晶圓處理，另一種用於掩模處理。此外，洗滌器還允許化學去除、拋光、脫脂和一般清潔等工藝。洗滌器配備了自己的水泵系統，用於連續更換洗滌過程中使用的水。它還配備了一個兩級過濾系統，用於清除任何在洗滌過程中無意中從晶片或掩模中分離出來的顆粒。這樣可以確保所有汙染物都能正確清除。洗滌器還具有位於後面板上的柔性噴霧式調節旋鈕，可用於根據正在加工的材料定制洗滌臂的噴霧式。這在擦洗可能具有不同表面成分的晶片和掩模時特別有用。洗滌器的設計具有多種安全特性。例如，洗滌器配有一個安全開關，在發生任何異常時自動關閉洗滌器，如過熱或過度振動。洗滌器的後板上還有一個緊急停止按鈕,該按鈕會中斷電源,並允許在發生事故時安全關閉。DAS V01.0082晶片和掩模洗滌器是一種可靠、高效的半導體制造工具。它能夠一次處理多個晶片和口罩，並為不同的材料提供可定制的噴塗速率。此外，該單元還配備了若幹安全功能，以確保操作員和正在處理的部件的安全。