二手 DISCO DCS 140 #9246368 待售

DISCO DCS 140是一款精密的晶圓掩模洗滌器，設計用於處理光刻、蝕刻、CMP等半導體加工應用。該機器具有廣泛的運動和自動擦洗功能,可用於高精度清潔光刻光柵、曝光面罩、閘門和防反射表面。DISCO DCS140的設計目的是實現徹底清潔,減少材料浪費,從而在關鍵生產過程中實現最佳的成本效益。DCS 140由3軸運動控制設備構成，具有由高精度直流伺服電動機驅動的X-Y穿越級。這種緊湊的系統可以根據應用程序和基板類型進行模式洗滌和區域清潔。此外，該機具有由直線電動機驅動的z軸，提供高達200 µm的高速掃描範圍。這些重要的特性使洗滌器能夠高精度地完成多項復雜的清潔任務。洗滌器的晶片自旋速度高達180 rpm，可快速徹底清潔晶片，汙染最小。此外，DCS140還配備了一個防止腐蝕和汙染的凈水裝置。該機器還能夠提供多種清潔路徑，使清潔液易到達甚至無法進入的區域。而且，該機擁有多語言液晶觸摸屏，為用戶和操作員提供了對洗滌器的簡單控制。這個用戶友好的界面有一個實時數據監控機，使操作員更容易評估清洗過程。洗滌器的軟件還具有數據保存和編輯功能,使用戶能夠根據需要快速回憶和自定義清理周期。DISCO DCS 140是一款高效且用途廣泛的晶圓掩模洗滌器,可對各種材料和基板進行一致而準確的清潔。其高精度的特性和用戶友好的界面使其成為現代半導體生產工藝的理想選擇。