二手 DISCO DCS 140 #9255326 待售

DISCO DCS 140是一種濕式晶片和掩模洗滌器，設計用於半導體工藝室。它旨在消除人工擦洗晶片和掩模的需要，減少顆粒和有機汙染，並提供一致的結果。洗滌器采用兩步工藝，包括機械洗滌器工藝和化學洗滌器工藝。在機械擦洗過程中，將晶片加載到擦洗平臺上，擦洗頭機械擦洗晶片，將振動和旋轉運動精確結合。在化學擦洗過程中，將清潔劑分配到晶片上，並用噴水沖洗掉該劑，從晶片表面清除殘留顆粒。清潔劑有效去除機械擦洗過程產生的殘留物。DISCO DCS140洗滌器具有多項功能,可確保可靠的洗滌器性能。它有一個兩室系統，可以在順序系統中使用，其中晶圓在兩個室之間移動，也可以在單室系統中使用，晶圓在整個洗滌過程中保持在同一個室中。它還具有兩種操作模式-自動化和手動-允許用戶根據需要調整洗滌參數。洗滌器具有內置的安全功能，包括自動控制洗滌器頭部高度，一個用於檢測何時需要重新裝滿水箱的濕度傳感器，以及用於確保操作員免受潛在危害的安全網和屏障。它還可以通過控制面板遠程操作,從而在生產過程中提供更大的靈活性。DCS 140洗滌器機身緊湊，足跡只有900H x 600W x 600D mm，適合空間有限的設施。其輕巧的結構也為洗滌器配備了出色的機動性。此外，洗滌器還配備了一個可容納7.1升水的水箱，使其能夠在不需要重新裝填的情況下進行更長的洗滌周期。洗滌器的全部內容在使用過程中通過一個清晰的查看窗口可見，允許用戶在不必打開洗滌器門的情況下監控洗滌器的進度。洗滌器還具有幾個顯示錯誤、警告和機器狀態指示燈的顯示器和LED指示燈。總之，DCS140是一種可靠高效的濕式晶片和掩模洗滌器，旨在滿足半導體生產工藝的苛刻要求。它使用方便，尺寸緊湊，是空間有限設施的理想選擇。