二手 DISCO DCS 140 #9277969 待售

ID: 9277969
Wafer cleaning system.
DISCO DCS 140是一款先進、高性能的晶圓和掩模洗滌器,旨在實現最高、最幹凈、最穩定的平面化性能。此模型旨在提供準確、可重復的結果,同時減少處理時間、成本和風險。DISCO DCS140采用先進的洗滌技術徹底清潔和拋光晶片和口罩。這款車型配備了先進的四軸控制設備,允許精確、均勻的洗滌和最小的晶片對晶片的變化。其改進的旋轉主軸和電機實現了精密清潔,而主軸檢測功能確保了紡紗洗滌頭的精確定位。為了在整個基板表面實現最佳的每英寸劃痕(SPI)控制和一致的清潔度,它具有先進的振動拋光和擦洗系統。此外,高壓噴水裝置確保晶片和口罩的徹底和有效的清潔。洗滌劑輸送機設計為按照洗滌器的最佳設置提供保證清潔所需的精密洗滌劑量。其細環定位精度和短洗滌周期時間有助於減少周期時間。此外,此模型還可定制以適應用戶的特定過程,從而實現快速高效的轉換,並提供最少的操作員培訓。最後,DCS 140旨在提供安全的操作。它包括一個臭氧廢氣清潔工具,用於清除清潔會議期間產生的臭氧和其他氣體。其多步安全設計使其成為市場上最可靠的洗滌器之一,而其大型、開放式的設計使其易於清潔維護。總體而言,DCS140洗滌器是一個高度先進、高性能和可靠的單元,可幫助用戶實現最高質量的平面化性能,同時幫助他們減少處理時間、成本和風險。
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