二手 DISCO DCS 140 #9277978 待售

DISCO DCS 140是由半導體行業工業解決方案領先制造商DISCO Corporation開發的晶圓和掩模洗滌機。它設計用於清潔半導體芯片和其他微電子器件制造過程中使用的晶片和掩模。洗滌器利用加熱和加壓的清潔溶液噴霧來清潔晶片和面罩細膩表面的表面汙染物，並去除基板表面各層之間的顆粒。當清潔過程開始時，晶片或口罩被放置在DISCO DCS140的雙門室內。然後將腔室密封並加壓至8.6psi，加熱至29-32°C。接著，一種洗滌劑泡沫被引入腔室，這又是由加壓空氣和熱水推動，擦洗晶圓和面膜的表面。泡沫和加壓液體噴霧的結合有助於去除晶圓和面膜表面的汙垢、油和其他汙染物。清洗完成後，任何殘留材料都要用熱水噴霧沖洗掉。水也冷卻腔室和加工過的晶片或面膜。最後，晶片/口罩在腔室降壓時用過濾空氣幹燥。在DCS 140中可以調節輸送速率和液滴大小以及洗滌溫度和壓力。這可以由操作員通過用戶友好的觸摸屏控制面板來完成。DCS140是為提高安全性而設計的,具有安全鎖存器功能,可防止腔室打開,除非壓力為0。此外,所有關鍵組件都配備了電子停止開關,以便在緊急情況下能夠快速安全地關閉機器。DISCO DCS 140也是為了成本效益和高吞吐量而設計的，每次運行最大容量為28晶圓。此外，該機易於維護，並且經過專門設計以減少洗脫用量。這有助於大幅降低處理成本。DISCO DCS140是一種用途廣泛、可靠的晶圓和掩模洗滌機.它旨在提供可靠和一致的清潔性能,提高產量並降低成本。這種洗滌器非常適合廣泛的半導體應用，並確保快速和一致的結果。