二手 DISCO DCS 141 #9096535 待售

DISCO DCS 141是一種全自動晶片和掩模洗滌器，旨在提高基板的質量和提高器件的產量。它采用雙噴霧旋轉洗滌工藝，對半導體制造中使用的矽片和光掩模進行均勻清洗。DISCO DCS141使用單個刷子將晶片/掩模驅動到清潔模塊上方，而兩個噴霧噴射器則連續噴灑清潔液。當晶片或面膜沿著清潔模塊向下移動時，會同時用超純水擦洗和沖洗。DCS 141具有獨特的兩級洗滌系統。首先，它在洗滌前預先浸泡晶片，讓清潔溶液穿透晶片表面的沈積物。然後，當晶片沿著清潔模塊向下移動時，雙噴霧射流同時利用同步的高壓洗滌和低壓沖洗作用來驅除表面汙染物和未濃縮顆粒。除了超聲波清洗晶片/面膜外，DCS141還具有離心幹燥系統。當晶片/掩模通過清潔模塊時，空氣被迫通過一系列噴嘴，迅速蒸發清潔溶液並同時幹燥晶片/掩模。這種幹燥系統可以防止任何液體夾在半導體晶圓/掩模的微蝕刻之間。DISCO DCS 141配備了一條傳送帶，每個循環最多可容納三個晶片/口罩。晶片/掩碼可以是各種大小、形狀和厚度。DISCO DCS141的洗滌性能也可以調整，以匹配正在清洗的晶圓/掩模的大小和類型。DCS 141配備了LAB/QC（品質控制）模式,允許用戶配置洗滌器以進行晶圓/掩模清潔驗證測試。LAB/QC模式顯示出更好的過程重復性和重復準確性,其結果提供了有關殘留物清除、表面積覆蓋、汙染水平和其他重要過程參數的詳細信息。DCS141還配有觸摸屏控制面板,可方便地訪問編程參數,如洗滌速度、洗滌壓力、水流率、幹燥時間和其他操作參數。這使得設置洗滌器以滿足用戶的需求比以往任何時候都容易。DISCO DCS 141采用直觀的用戶界面設計,致力於安全性和可靠性,為半導體制造過程中使用的矽片和光掩模的清洗提供了一個高度可靠和高效的自動化解決方案。