二手 DISCO DCS 141 #9312489 待售

DISCO DCS 141是一款高效、經濟實惠的半導體生產晶圓和掩模洗滌器。它是一種具有創新技術的皮帶式工具，旨在提供晶圓、基材和窗罩的自動化和精確清洗。DISCO DCS141配備了用於大氣臭氧擴散的精細圖案傳送帶，提供一致和可靠的清潔性能。由直流伺服電機和皮帶驅動系統驅動，確保精密準確的處理。此外，其水力動態流動臭氧，以實現最佳的清潔力和清除率。DCS 141非常適合大規模生產,因為它能夠每小時處理多達1,000個晶圓。適用於幹濕洗滌工藝，達到最佳清洗效果。濕洗工藝以技術先進、高效的沖洗機理為基礎.這包括一個淋浴裝置，它包括配置成產生均勻和恒定的水流通過晶圓噴嘴。幹洗工藝采用基於大氣的臭氧工藝，適用於高度敏感的工藝或周期時間較短的工藝。除了濕洗和幹洗，DCS141還提供蝕刻和振動清洗功能。它配備了高性能氣動執行器，能夠達到高達55 Hz的振動頻率，無論表面類型如何都能提供強大的攻擊性。此外,它還具有兩個獨立的蝕刻室和兩個針對不同應用的蝕刻解決方案。這可以同時使用兩種蝕刻技術,提供卓越的清潔性能。DISCO DCS 141還配備了高級軟件包，提供了用戶友好的觸摸屏界面和工作流管理系統。它能夠檢測、監視和報告具有關鍵流程參數的錯誤。此外，它還配備了參數設置菜單、內置診斷和在線支持系統。DISCO DCS141是一款先進的晶圓和掩模洗滌器，提供可靠、高效、經濟實惠的高端性能。其自動化的清潔能力，能夠處理高達1000晶圓每小時，使其適合大規模生產。憑借其創新技術、用戶友好的觸摸屏界面和先進的軟件包，它能夠以最小的努力提供出色的清潔性能。