二手 DISCO DCS 141 #9355561 待售

DISCO DCS 141晶片和掩模洗滌器是一種精密清潔設備，設計用於先進的半導體晶片和掩模清洗應用。該系統專為潔凈室而設計，並設有一個獨立的洗滌模塊，與各種洗滌材料兼容，包括水、溶劑和氨。洗滌模塊配有溫控浴，采用四向壓力平衡閥，確保洗滌動作一致。洗滌裝置能夠在一個周期內洗滌多達100個晶片或口罩。洗滌過程以去離子水淋浴開始，以清除晶圓或面罩表面的灰塵、汙垢和其他表面汙染物。接著是帶有水溶液的預塗層，以進一步清潔晶圓或遮罩表面。過程的第三步是實際洗滌，使用各種洗滌劑完成，具體根據晶圓或蒙版材料選擇。洗滌過程用洗滌後循環完成，以確保任何剩余的洗滌劑被徹底沖走。機器的其他功能包括可調節速度的傳送帶,用於在洗滌過程中移動晶片或掩模,以及基於PC的圖形用戶界面（GUI）,以便於監視和控制刀具。資產還包括一些安全功能，旨在確保工人在操作過程中的安全。這些安全特性包括在蓋子打開時防止洗滌操作的安全互鎖，以及防止洗滌室中積壓過大的減壓閥。DISCO DCS141設計用於大批量生產環境,非常適合需要精確和可重復結果的晶圓和掩模清潔應用。該模型結合高精度技術和堅固的安全措施，使其成為可靠高效的清潔解決方案，有助於保持晶圓或掩模質量的最高水平。