二手 DMS M208 #9399898 待售

DMS M208是一種晶圓和掩模洗滌器，旨在使半導體制造的清洗過程自動化。洗滌器裝有五個集成模塊，包括盒式磁帶到盒式磁帶的運輸、飽和前沖洗、洗滌、最後清洗和幹燥。這一自動化過程在一個周期內從多個蝕刻元件的正面和背面清除有機汙染物。清潔從盒式磁帶到盒式磁帶的傳輸開始,該傳輸從用戶獲取蝕刻組件的盒式磁帶並將其移動到預飽和沖洗站。該站用液體溶液使蝕刻成分飽和，通常是過氧化氫或氫氧化鈉（NaOH）的稀溶液。該溶液使用噴霧噴霧器，用於去除蝕刻組件中的殘留顆粒。下一站是裝有多個磨砂刷和可洗滌板的洗滌站。這些磨砂刷用於借助可洗滌板去除蝕刻部件中的有機汙染物。該站還包括低流量淋浴，以保證均勻的洗滌性能。擦洗後，這些部件被轉移到最後的清潔站，在那裏進行無化學物質的清潔和最後的幹燥。這個過程除去任何殘留的有機汙染物或殘留的化學顆粒。擦洗過的和清洗過的部件隨後被轉移到幹燥站。在這裏，水分會從組件中去除，並且它們準備好被轉移到各自的盒式磁帶中，以便返回給用戶。M208是一個完全自動化的系統，需要最少的操作員交互。它能夠達到高達99%的顆粒去除效率，是為滿足各種半導體制造需求而設計的。它減少生產停機時間,提高產量並降低生產過程中的汙染程度。