二手 DMS M600 #9316329 待售

DMS M600
製造商
DMS
模型
M600
ID: 9316329
晶圓大小: 12"
Foup cleaner, 12" Mainframe.
DMS M600是利用先進的清潔和清洗技術清除半導體產品表面汙染的晶圓和掩模洗滌器系統。洗滌器由一系列洗滌和沖洗階段組成,可根據客戶的具體需要量身定制。它旨在清除各種類型半導體產品表面的工藝殘留物、汙染物和碎屑,如裸矽晶片、掩模、步進器、計量工具等。DMS M 600集成了智能洗滌頭,可針對不同的材料和應用優化洗滌過程。頭部安裝在伺服馬達上,能夠上下移動以及左右移動。這樣,洗滌頭可以在清潔過程中均勻地分散適當的洗滌介質。洗滌頭有可調節的壓力設置,可以根據正在清洗的材料來設置。M600使用的洗滌介質發泡低,無磨料,無危險。它是專門為清除難以觸及的表面的顆粒、汙染物和過濾殘留物而配制的,可以回收利用,以提高效率和降低成本。洗滌器還包括一個可調的水管理系統,以確保在沖洗過程中使用最佳水量,並進一步降低成本。M 600還包括一個幹燥過程,其中包括一個氮系統,以便在清潔和清洗過程完成後有效地清除表面的所有水分。該洗滌器是為工業用途而建造的,結構堅固,具有最大耐用性。DMS M600能夠擦洗多達100個平面,設計用於清潔室環境。DMS M 600是去除各類半導體產品汙染的高效、經濟高效的方法。它操作簡單,清潔幹燥時間快,是許多半導體生產設施的理想選擇。
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