二手 DNS / DAINIPPON HMS-TVM-300 #9159859 待售

DNS/DAINIPPON HMS-TVM-300是為半導體工業設計的先進晶圓和掩模洗滌器。洗滌器能夠處理尺寸不超過500毫米的基板、面罩和晶片,並具有先進的可編程控制器,可精確控制洗滌器的處理過程。洗滌器具有多種特性，使其非常適合半導體工藝。洗滌器有一個平整的平臺，可以支持高達300毫米的晶圓。該扁平件有一個特殊的塗層，以防止刮擦和磨損。洗滌器還具有高達200 LPH的高流量和50kPa的低運行壓力。除洗滌外，DNS HMS-TVM-300還具有與硫酸、硝酸、氫氟酸等標準半導體蝕刻劑兼容的幹燥蝕刻工藝。洗滌器還配備了光敏平臺，用於加工光敏材料和可支撐最多8個尺寸可達100毫米的晶片的紡紗機。為了安全起見，洗滌器具有幾個安全功能，包括操作員保護的外殼、自動關閉和警告系統以及吸能彈簧加載平臺。洗滌器還與標準安全協議兼容，包括靜態耗散和其他系統組件的正常運行。DAINIPPON HMS-TVM-300的設計具有緊湊的占地面積,適合在各種工作環境中安裝。洗滌器還被設計為易於集成到現有的半導體生產線中，並且可以與材料傳輸系統和CMP拋光系統等其他系統接口。洗滌器提供高吞吐量和低維護成本,使其成為許多半導體工藝的經濟高效的解決方案。先進的可編程控制器提供了對洗滌過程的精確控制，使得高質量的洗滌結果在一致的基礎上。洗滌器也具有很高的適應性，可用於加工多種材料和基材。