二手 DNS / DAINIPPON SR-3000 #293596480 待售
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已售出
ID: 293596480
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Stripper, 12"
(4) Chambers
CIM: SECS / GEMS
Process: AZ / NMP, PGMEA, IPA
(2) Pump
Handler: IR / Slide / CR Robot
Factory interface: (3) FOUP
2003 vintage.
DNS/DAINIPPON SR-3000是為半導體制造和研究應用而設計的高度先進的晶圓和掩模洗滌器。該洗滌器為晶圓和掩模相關工藝的開發和測試提供了可靠、高性能的平臺。DNS SR-3000能夠處理直徑達300 mm的晶片,並配備了多個可獨立配置的洗滌頭,以提供最佳的洗滌效果。該設備采用全自動洗滌工藝,帶有計算機控制的可編程洗滌頭。洗滌頭充分利用超聲波清洗技術,徹底清潔晶片表面或汙染物掩模。洗滌頭由安裝在旋轉圓盤中的兩個多晶金剛石洗滌尖端組成,尖端設計用來清潔晶圓或面膜的邊緣以及表面積。晶片或面膜以漂洗-幹洗-幹燥順序清洗,從表面清除汙垢和汙染物,提高工藝質量。DAINIPPON SR-3000還采用高精度清潔系統,使用冷熱兩種水源,以確保可靠的清潔效果。SR-3000的清潔軟件可確保晶片或掩模在加載到處理平臺之前得到徹底清潔。該單元還可以配備自動晶片加載、晶片對準、晶片檢測等附加功能。這些特性旨在消除任何汙染的可能性,並確保晶片或掩模以可重復和可靠的方式處理。DNS/DAINIPPON SR-3000的設計非常適合任何類型的半導體生產環境。它包括一個面向過程的控制機器,能夠根據所需的過程優化其配置。這使得DNS SR-3000特別適合在大批量生產環境中使用。最後,DAINIPPON SR-3000晶片和掩模洗滌器是一種旨在確保晶片和掩模的高效和可靠清潔,用於半導體制造過程的工具。洗滌頭和相關功能的設計旨在確保最佳清潔性能,而又不犧牲可靠性和可重復性,而且洗滌過程非常簡單,可以集成到任何類型的生產環境中。
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