二手 DNS / DAINIPPON SS-3000-AR #293617845 待售
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ID: 293617845
優質的: 2005
Scrubber, 12"
Chamber A:
Process: Wafer surface clean
Vacuum chuck
Soft spray N2 10~100NL/min
Rinse: DIW / CO2 Injection, resistivity <1 MΩ
Spin dry speed: 3000 RPM
Chamber B:
Process: Wafer surface clean
Vacuum chuck
Soft spray N2 10~100NL/min
Rinse: DIW / CO2 Injection, resistivity <1 MΩ
Spin dry speed: 3000 RPM
Chamber C:
Wafer backside clean
Mechanical chuck
PVA Burush
Rinse: DIW / CO2 Injection, resistivity <1 MΩ
2005 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-3000-AR Wafer&Mask Scrubber是一種可靠、高效的清潔設備,設計用於在半導體制造過程中清除晶片和Mask表面的顆粒。該系統利用先進的振動振蕩清洗技術,快速高效地擦洗晶片和掩模表面的顆粒。DNS SS-3000-AR包括兩個洗滌室,每個洗滌室都有一個振動的清潔頭.洗滌室可容納3000mm2的晶圓和掩模材料。洗滌頭由強大的電動機提供動力,可調至三個速度,從而在高頻下振動洗滌頭。洗滌頭能夠擦洗晶片和掩模材料的表面和邊緣,從材料的外部和內部去除顆粒。洗滌頭可調整至三個清潔速度水平,允許高效徹底清洗。該單元配有壓力傳感器,以確保每個循環期間都有適當的洗滌壓力。該機還配備了高科技粒子探測器,可檢測材料表面小至0.1 μ m的粒子。DAINIPPON SS 3000 AR結構堅固,可承受極端溫度、灰塵、濕度和沖擊。該工具還包括有效的環境控制資產,以保持洗滌室的環境清潔和無雜質。DNS SS 3000 AR具有用戶友好的界面,具有易於理解、多語言的菜單,允許快速、輕松的設置和操作。此外,可以將外部數據記錄模型連接到設備,從而實現全面的過程控制和可追蹤性。DAINIPPON SS-3000-AR Wafer&Mask Scrubber是一種高效、高效的清潔解決方案,旨在去除晶圓和Mask表面最小的顆粒。堅固的結構、精確的壓力控制和強大的洗滌頭使其成為半導體制造過程中的理想之選,確保了清潔可靠的結果。
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