二手 DNS / DAINIPPON SS-3000-AR #293624557 待售

DNS/DAINIPPON SS-3000-AR是一種用於高精度清洗的自動晶圓和掩模洗滌器。它旨在清潔各種先進的半導體晶片和光掩模，並且能夠執行各種專門的工藝。洗滌器配有集成清潔機械手，工作功能方便。機械手由可用於拾取和移動晶片的可編程提升臂以及能夠向晶片輸送精確數量的清潔溶液的先進噴霧設備組成。機械手還配備了晶圓故障檢測系統，有助於確保晶圓被正確清洗。洗滌器能夠對晶片和蒙版進行多種操作，包括：洗滌、拋光、蝕刻和熱存儲。對於每個工藝，各種專門的石塊和清潔溶液都可以與先進的操作單元相結合，提供極其可靠和精確的清潔性能。集成的EDX（能量色散X射線）分析機允許對清洗過程前後晶片或掩模的狀況進行全面評估。自動化工具還允許用戶為每個進程編程自定義清潔配置文件。洗滌器裝在一個堅固的外殼中，其工業設計提供無灰塵和無顆粒的環境。外殼還配備了集成通風資產，使溫度和濕度保持在最佳水平。此外，該機具有可調節的清洗壓力模型和自動診斷功能，以確保始終以最高效率運行。設備還配備了多種安全措施，有助於保護操作員不接觸危險材料。洗滌器需要最少的維護,其設計目的是提供一致的結果級別,而不管處理的晶片或掩模的類型如何。