二手 DNS / DAINIPPON SS-80BW-AR #9205458 待售
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ID: 9205458
Scrubber, 8"
SMIF Type
Options: 2F / 2B
Moving type: Transfer robot
Loading position type: Right-side type
Signal tower: 4-Color (GYWR) Patlite type
Indexer unit:
(4) SMIF Type
Wafer detect sensor
Transfer robot (Vacuum less) / X,Y, Z, R Axis
TR Unit:
Dual arm transfer robot (Vacuum less) / XI, X2, Y, Z, R Axis
Wafer detect sensor
Back-side spin unit:
Magnetic chuck type
Brush nozzle (Normal type)
Jet nozzle
DIW1, D1W2, back rinse, brush rinse, N2 blow, N2 purge
Front-side unit:
Vacuum chuck (Black acetal)
Brush (Brush pressure control system)
Jet nozzle
DIW1, DIW2, Back rinse, brush rinse, N2 blow, N2 purge
Reverse unit: (2) Reverse units
Side cabinet:
(4) High pressure pumps / EBARA / PJ-50 / E50-R13K / 5(Mpa)
Meg-con system
FFU Chamber & controller
Drain mani-fold unit
2000 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-80BW-AR是專門為光刻生產而設計的晶圓和掩模洗滌器。洗滌器提供高水平的自動化和控制，能夠可靠的清潔，而不會傷害晶片或面罩。該設備適用於一系列應用，包括鏡頭前的清潔面罩和曝光系統，以及顯影後的晶片擦洗。DNS SS-80BW-AR洗滌器具有可靠、高效的清潔工藝,具有高精度控制器、自適應洗滌力和鉸鏈蓋等特點,便於訪問。洗滌器使用計算機控制的力來提供口罩和晶片的溫和洗滌。可以在0.8-2.4N之間調整力，以確保清潔最適合被擦洗材料的靈敏度。洗滌器有兩個主要部分：一個裝有洗滌輪和洗滌液的清潔室和一個控制室。清潔室的設計是為了減少清潔液從以前的晶片的殘留.控制室設有真空源、溫度傳感器、力傳感器、壓力傳感器，以及用於實時監控清潔過程的CCD攝像頭。該系統是為低顆粒和水汙染而設計的，包括一個用於控制洗滌工具溫度的單元。洗滌器還具有RR監控功能，允許用戶監控粒度、濃度和流量。為確保安全可靠的操作,DAINIPPON SS 80BW AR洗滌器旨在提醒用戶在洗滌過程中有任何可能的汙染或錯誤。該機還設計用於防止晶片之間的交叉汙染，每次使用後自動清洗洗滌輪。SS-80BW-AR是光刻生產中晶圓和面膜清洗的理想選擇。它提供了一個可靠、自動化的清洗過程，具有可調的洗滌力，溫度控制，和顆粒控制。洗滌器易於使用和維護,減少了停機時間並提高了生產率。
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