二手 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #9149127 待售
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ID: 9149127
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
Scrubber, 8"
(2) Front side scrubbing units
(2) Back side scrubbing units
Reverse unit
Transformer
2001 vintage.
DNS/DAINIPPON SS-W80A-AR Wafer&Mask洗滌器是一種高度緊湊的自動化洗滌設備,專為半導體光掩模的清潔而設計。該系統由晶片洗滌器、面罩洗滌器和捕食者三個洗滌器模塊組成。晶片洗滌器模塊由一個通用傳輸單元組成，該單元最多可支持8個6英寸晶片盒式磁帶。該機裝有3軸高分辨率自動晶圓轉子，能夠旋轉各種晶圓尺寸，包括直徑不超過200毫米的標線。然後用洗滌劑溶液對晶片進行自旋噴塗和噴洗，以確保徹底清潔，然後進行高壓沖洗。面罩洗滌器模塊設計用於清潔液體鍍金面罩，由三軸機械臂組成，自動定位至最佳洗滌角。這樣可確保有效地從蒙版中移除所有表面缺陷。然後用洗滌劑溶液旋轉噴塗面膜，然後用高壓沖洗。捕食器模塊是一種熱板幹燥工具，由於表面溫度升高，可將晶片和面膜的洗滌過程中的殘留氣體密封起來。該資產包括一個能夠達到800°C最高溫度的電熱器和一個用於檢測熱板熱和電壓變化的信號檢測模型。設備還裝有兩級溫度計時器，可精確控制幹燥周期。DNS SSW80A-AR被設計為一種有效的半導體光掩模清洗系統。它的模塊化設計確保了所有三個洗滌模塊可以同時使用，允許在一個過程中高效清理多達八個6英寸晶圓和多達六十個掩模。此外，它的熱鍍預制器確保晶片和掩模的表面不會留下殘留氣體，從而允許高度可靠的材料處理。
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