二手 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AR #9364251 待售
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DNS/DAINIPPON SS-W80A-AR是一種晶圓和掩模洗滌機，旨在自動清洗半導體制造中使用的晶圓和掩模。它采用獨特的空氣洗滌工藝，輕輕去除晶片表面的汙染物，清洗遮罩表面或光學透明層（如光致抗蝕劑）的殘留物。空氣洗滌器比手動清洗技術更好、更快、更精確，是半導體器件生產線中必不可少的工具。DNS SSW80A-AR晶片洗滌器采用五軸柔性臂設計，允許其進入晶片的頂部、底部和側面，以確保在洗滌過程中晶片表面完全覆蓋。這使得洗滌器能夠清除難以到達的區域中的碎屑，這些碎屑會在研磨和拋光過程中對晶片表面造成汙染。此外，洗滌臂可以定制，以適應不同的晶圓尺寸和材料。一旦晶片加載到洗滌器中，洗滌器就使用高速氣流將顆粒清除。氣流是由一系列看起來像圓形風扇的噴嘴形成的。洗滌過程分四個階段進行：預清洗、洗滌、沖洗和最終清洗。空氣洗滌工藝還使用表面活性劑性能較弱的專有洗滌劑，幫助進一步減少晶圓上的汙染。在安全性方面，洗滌器保護工藝環境不受磨料洗滌過程產生的任何噴出顆粒或灰塵的影響。這是通過使用內置的HEPA（高效顆粒狀空氣）過濾器來實現的，該過濾器可以捕獲進入工藝環境的任何顆粒或灰塵。這有助於為晶圓洗滌過程創造一個幹凈、安全的工作環境。最後，DAINIPPON SSW-80A-AR有一個自動化的控制系統，便於操作和監測從一個中央控制站洗滌過程。該系統還提供有關晶圓上檢測到的汙染程度的反饋,並將在發生任何異常情況時通知操作員。這有助於確保生產過程以最小的汙染風險順利進行。總體而言，DAINIPPON SSW80A-AR是一種高效的工具，有助於清潔半導體生產中使用的晶片和掩模。它的自動化控制系統使監測和操作更加容易，其先進的空氣洗滌技術確保了更好和更快的清潔，最小的汙染風險，同時提供了一個安全的工作環境。
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