二手 DNS / DAINIPPON SS-W80A-AVR #293591705 待售

DNS/DAINIPPON SS-W80A-AVR晶片和掩模洗滌器是一種自動化晶片和掩模清洗設備,可用於解決最具挑戰性和最復雜的表面汙染問題。它采用壓力和化學工藝的專有組合，在半導體制造中使用的晶片和掩模的表面上達到最高水平的清潔度。該系統由安裝在平臺上的集成洗滌模塊組成，由多個組件組成，包括壓力容器、支撐底座、化學儲層、洗滌刷和化學噴射單元。壓力容器設計用於處理直徑達450毫米的晶片和寬度達300毫米的掩模。它被設計為與低溫化學溶液結合使用，以去除基質表面的顆粒、土壤和有機殘留物。支撐底座固定壓力容器，並提供一個可調節的平臺，壓力容器可根據不同的清潔周期要求被提升或降低。它還作為安裝洗滌模塊、化學儲層、註射機的平臺。洗滌單元是一個圓柱形的外殼，包含一系列晶圓和遮罩架固定裝置，用於在洗滌過程中固定基板。洗滌刷安裝在設備頂部，以便有效清潔基板表面。化學儲層為該過程提供清潔溶液。它是一個溫度控制的工具，允許精確的化學混合物比率和流量，以最佳的清潔結果。註入裝置設計用於將加熱的預混合清潔溶液註入壓力容器。這樣可以確保基板均勻且徹底塗上清潔溶液，有助於確保清潔效果一致。除了清潔單元外，該型號還包括了一系列的監控裝置，如監視器控制器。此組件旨在確保設備在整個過程中保持最佳性能和清潔度。DNS SS-W80A-AVR晶片和掩模洗滌器在基板表面上提供最高水平的清潔結果。憑借其集成的設計、自動化的清潔和精確的壓力容器，它是最苛刻的晶圓和面罩清潔和汙染物清除應用的理想解決方案。