二手 DNS / DAINIPPON SSW-60A-AR #293689357 待售
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單擊可縮放
ID: 293689357
晶圓大小: 6"
Spin scrubber, 6"
Non-SMIF Type
Loading position type: Left side
No GEM Controller
3-Colors signal tower
(2) Reverse units
Indexer unit:
Type: (4) Cassette
Wafer defect sensor and vaccumless A type
Transfer robot
TR Unit:
Dual arm transfer robot
Wafer defect sensor
Back-side spin unit:
Mechanical chuck
Brush nozzle
DIW1, DIW2, Back rinse, Brush rinse, N2 Blow and N2 Purge
Front-side unit:
Vacuum chuck
Brush nozzle
Jet nozzle
DIW1, DIW2, Back rinse, Jet rinse, N2 Blow and N2 Purge
Side cabinet:
Jet pump
Meghcon cabinet
R/D Rack
Missing parts:
Servo AMO
5-Axis drive
T/R Board
2000 vintage.
DNS/DAINIPPON SSW-60A-AR是一種晶圓和掩模洗滌器，旨在滿足半導體工業的清潔要求。洗滌器利用各種清潔噴嘴和刷子來有效地清潔和維護晶圓和掩模表面。洗滌器裝有135度可調頭。可調頭可用於晶片表面的精密清潔和角度控制，這對於化學洗滌劑的應用至關重要。此外，洗滌器還配備了全自動清潔系統，使洗滌和幹燥過程自動化。洗滌器由高效無刷直流電機提供動力，提供強勁穩定的清潔性能。洗滌器采用全金屬結構，在生產應用中保證了卓越的耐用性和可靠性。此外，洗滌器還配備了多種清潔噴嘴類型，用於各種晶圓和面罩清潔應用。洗滌器能夠以超細清潔模式洗滌，包括CPU（化學處理）、ED（彈性變形）和PR-L（底漆還原）方法。此外,洗滌器的清洗速度範圍很廣,從每分鐘0.1轉到10,000轉不等。這些速度提供了對洗滌過程的精細、一致的控制。洗滌器創造了一個顯著減少的顆粒環境，因為它設計有一個防堵塞功能，消除在清潔產生的顆粒。這樣就不需要在潔凈室裏完成精細的顆粒收集設備。最後,DNS SSW60A-AR與許多不同類型的晶圓尺寸兼容,包括200 mm和300 mm。這保證了洗滌器可以在各種生產應用中使用。總之，DAINIPPON SS-W60A-AR是一種用途廣泛、可靠的晶片和掩模洗滌器。洗滌器提供晶圓和掩模表面的精確清潔，具有高效的無刷直流電機，與各種晶圓尺寸兼容。此外，洗滌器的設計是為了創造無顆粒的清潔環境，使其成為理想的潔凈室生產應用。
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