二手 DNS / DAINIPPON TKSP-300S #9159919 待售

DNS/DAINIPPON TKSP-300S Wafer&Mask Scrubber是為嚴格工業用途而設計的先進晶圓清洗設備。該系統提供行業領先的洗滌技術,以清潔和維護晶片和掩模,從而提高生產率和重復性能。DNS TKSP-300S消除了手動擦洗,取而代之的是將可靠的擦洗和充分的清潔與可重復性結合在一起的自動化過程。洗滌器由堅固的不銹鋼底盤組成，具有堅固的IPM（智能工藝模塊）和16位專用微處理器。它包含一個直觀的'Jog&Shuttle'菜單導航單元，用戶可以在其中設置諸如晶圓和掩模清潔周期以及化學過程等參數。接口還配備了多語言支持，在設置或操作洗滌器時提供便利。洗滌器還包括一個裝載臂，保持維護水平低，並鼓勵生產力。洗滌器內部還包括一個高效的快速返回化學浴，確保晶片在上腔內停留不到一秒鐘。沐浴水的這種極快的變化確保在最短的時間內完成晶片清洗。洗滌器裝有攻擊性刷機，用於有針對性地洗滌汙染物，如金屬顆粒和有機汙染物。畫筆工具設計為無縫工作在所有類型的遮罩基板。此外，洗滌器運行兩步清潔過程，確保最佳脫旗，去除疏水和帶電材料，並允許最佳的離子汙染控制。DAINIPPON TKSP-300S洗滌器還配備了有源空氣過濾資產，可在整個模型中循環空氣，幫助延長洗滌器壽命，並提供對空氣傳播顆粒的保護。設備還配備了先進的自動沖洗系統，可以清除晶圓或面膜上留下的任何輸送氣體或灰塵的痕跡。TKSP-300S洗滌器還提供增強的維護功能,並提供對設備狀態和預防性維護的實時監控。洗滌器還包含一個安全登錄機，允許操作員獨占訪問參數和監控功能。總體而言,DNS/DAINIPPON TKSP-300S Wafer&Mask Scrubber是業界領先的晶圓清潔工具,它將增強的洗滌和清潔技術與自動化過程和用戶友好的編程相結合,以可控和可重復的方式提供卓越的效果。