二手 ENTEGRIS NU-J6101 #293594350 待售
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ENTEGRIS NU-J6101晶片和掩模洗滌器是ENTEGRIS Inc.為加工和清潔敏感半導體和光掩模基板而設計的專用清潔設備。該工具利用多個清潔周期、化學處理和先進的機器人技術,在各種介質上取得最佳的清潔結果,包括半導體和光掩模行業中最常用的材料。NU-J6101晶片和面膜洗滌器利用專利單級洗滌液提供非接觸式清潔方法,以確保基板的完整性。一個先進的機械臂用來從架子上抓起基板,抓住它,根據需要在機器人站之間移動。機械臂為每種基材提供最佳的清潔工藝,包括微蝕刻和去離子水沖洗。在微蝕刻過程中,化學試劑、去離子水和超聲波能量的結合被用於清除積聚物和汙染物。微蝕刻後,機械臂將基板旋轉至另一臂,用高純度去離子水沖洗基板,以清除殘留的汙染物。晶片和掩模洗滌器還具有先進的監控系統,可實時連續監控洗滌過程。該單元可以檢測任何異常,如運輸過程中過度振動,必要時自動關閉機器。此外,洗滌器的高級計算機控制工具可實現精確的洗滌器模式控制,允許用戶對資產進行特定清潔過程的編程。這種清洗過程的最終結果是完全清潔的晶圓或光掩模。這包括清除任何顆粒或汙染物,包括那些太小而肉眼看不見的顆粒或汙染物。由於最終產品是經過完美清潔的基板,這臺機器使制造商能夠投資於高質量的光掩模和半導體,這對於任何需要敏感數字數據的項目都是必不可少的。ENTEGRIS NU-J6101晶圓和掩模洗滌器是任何半導體或數字制造過程中必不可少的工具。該型號的創新洗滌技術和精確的機器人控制確保了最高質量的晶片和光掩模,這是任何精密制造任務的必要條件。
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