二手 ENTEGRIS NU-J6101 #9383262 待售

ENTEGRIS NU-J6101 Wafer&Mask Scrubber是一種全自動晶片和Mask清潔設備,旨在確保最高的產品質量和減少顆粒汙染。NU-J6101具有安靜、符合人體工程學的設計,可輕松融入任何清潔環境。晶片和蒙版洗滌器使用兩個磁頭,能夠同時清潔一到兩個5英寸或兩個8英寸晶片或蒙版。洗滌器可調節10°至90°的清潔角度,速度高達500 rpm。ENTEGRIS NU-J6101包括一個7英寸的觸摸屏，允許用戶輕松編程和調整清潔參數。晶圓和蒙版洗滌器提供洗滌、加液洗滌和乳化等三種清潔模式的多功能性，以及專用的IC卡盤洗滌清潔模式。先進的清潔技術確保即使經過多次清潔周期也能完全清潔晶片和口罩。晶圓和掩模洗滌器采用三級汙染分離設計。位於機器底部的一根排水管從腔室收集所有擦洗過的顆粒，然後將其送到內置的顆粒過濾器，從工藝出口溶液中過濾出來。然後收集過濾後的顆粒並準備處置。直觀的用戶界面旨在通過自動提示指定清潔過程的正確清潔參數來促進用戶安全。NU-J6101可同時裝有500 mL和1000 mL清潔溶液罐,並配有HEPA過濾系統。HEPA過濾裝置有助於保持優越的潔凈室環境，因為它捕獲任何可能進入機器的空氣中的顆粒。Wafer&Mask洗滌器還配備了自動蓋子安全互鎖機構，可防止機蓋意外打開。ENTEGRIS NU-J6101 Wafer&Mask Scrubber是一種創新和高效的清潔工具,專門設計用於滿足半導體行業的需求。它提供卓越的產品質量、可靠的清潔性能以及安全和符合人體工程學的用戶體驗。先進的功能和技術為用戶提供了最高水平的清潔度和極致的可用性。