二手 KOCAT KC-601 #9314417 待售
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ID: 9314417
Wet scrubber for ICP
Capacity: 500 SLM
Interlock: flow sensor, level sensor
Processing gas: HCl, HF, Cl2, BCl3, SiH2Cl2, HBr, POCl3, NH3
Processing efficiency : >99%
Power: AC220V, max 5KW, normal 3KW
N2: 4-7kg/cm2
CW: 2-5kg/cm2, 2-5L/min, NPT 1/2"
Overflow drain: Acid drain, 2-5L/min, NPT 2"
Maintenance Drain: NPT 1/2"
Gas inlet: 3 port, NW50
(3) Process exhaust : -50--100mmH2O, 2m3/min
Dimension(W×D×H): 710×220×1650 mm
Weight: 350 kg
2011 vintage.
KOAT KOCAT KC-601 Wafer and Mask Scrubber是一款緊湊、易於使用的機器,旨在為矽片和Mask洗滌提供連續、高性能的噴水清洗。該裝置采用獲得專利的噴射設計,提供最大程度的控制和準確性,有助於確保最佳清潔。用戶友好的一鍵式操作使用戶可以輕松地在工作模式之間切換,從而能夠快速方便地清潔濕基板和幹基板。KOAT KC-601配備了高壓三泵,確保您的洗滌過程既高效又均勻。它的不銹鋼車身和自動化操作使機器能夠在最苛刻的環境中保持其狀態和清潔。對可調節噴嘴進行了優化,使其易於指向和控制噴塗方向。這確保了精確度和減少意外液體飛濺清潔操作。此外,KOAT KOCAT KC-601還配備了二氧化矽濾波器。這種過濾設備設計用於捕獲和去除微觀顆粒,以確保有效消除任何殘留。結果,機器的清潔性能得到增強,產生了優越的光潔度。KOAT KC-601采用高級安全功能系統制造,使用起來安全可靠。壓力控制單元調節噴水器的壓力,而安全密封機則防止水滲透的可能性。此外,內置的可視顯示屏還提供了擦洗過程的操作和可視指示。總體而言,KOAT KOCAT KC-601提供了功能強大、用戶友好的洗滌解決方案。高效可靠的操作使得它成為任何晶片和掩模洗滌工藝的理想選擇。KOAT KC-601以其先進的性能、精確度和安全性相結合,是任何尋求優質洗滌器的人的理想選擇。
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