二手 KOCAT KSI-701 #9314418 待售
網址複製成功!
單擊可縮放
ID: 9314418
Wet scrubber for ICP
Capacity: 500 SLM
Interlock: flow sensor, level sensor
Processing gas: HCl, HF, Cl2, BCl3, SiH2Cl2, HBr, POCl3, NH3
Processing efficiency : >99%
Power: AC220V, max 5KW, normal 3KW
N2: 4-7kg/cm2
CW: 2-5kg/cm2, 2-5L/min, NPT 1/2"
Overflow drain: Acid drain, 2-5L/min, NPT 2"
Maintenance Drain: NPT 1/2"
Gas inlet: 3 port, NW50
(3) Process exhaust : -50--100mmH2O, 2m3/min
Dimension(W×D×H): 710×220×1650 mm
Weight: 350 kg
2011 vintage.
KOCAT KSI-701是一款由KOCAT Corporation制造的高端重型晶圓和面罩洗滌器。它設計用於半導體組裝和加工應用,非常適合大型生產線的需求。KOCAT KSI 701提供卓越的性能和易用性,具有廣泛的清潔、擦洗和拋光功能。其主要目的是幫助清潔和恢復各種後端生產過程中使用的晶片和掩模的表面。它能夠獨立地擦洗晶片或面膜的兩側,從而使批量生產的工作得到快速有效的擦洗。KSI-701還能夠通過高效和高效的使用來減少零件表面的汙染和其他積聚。KSI 701是一款全自動機器,能夠清洗、擦洗和拋光晶片和口罩,達到高標準的質量。這是通過集成功能的範圍來實現的,如X-Y擦洗臺、線性VPI擦洗系統和振蕩擦洗系統。其先進的晶片處理器也增加了清潔能力,因為機器可以輕松處理直徑達25mm的晶片。在安全維護方面,KOCAT KSI-701具有蓋子互鎖、氣體關閉功能、自動水關閉功能等多種防護功能。這樣可確保操作安全,並有助於減少手動維護的需求。它還具有一系列警報和傳感器,使其能夠檢測其操作中的任何不規則性,以保護被擦洗的部件免受損壞。KOCAT KSI 701是一款創新產品,專為小型和大型半導體生產應用而設計,提供多種清潔、擦洗和拋光功能。可靠、高效、易用,非常適合高端和入門級生產線的需求。此外,其先進的安全和監測功能確保了質量和安全永遠不會因速度而受到損害。
還沒有評論