二手 LAM RESEARCH 2300 Coronus #293665044 待售

LAM RESEARCH 2300 Coronus是一種晶圓和掩模洗滌器，為半導體器件制造提供先進的清潔控制。2300 Coronus旨在有效清除汙染物,同時保持對洗滌過程的精確控制。洗滌器利用真空、清潔溶液和超聲波技術相結合，有效地去除晶片和掩模中的顆粒和雜質。清洗過程由控制器監控,控制器具有實時圖形顯示,顯示當前和歷史晶圓及掩模清洗參數。洗滌器配有懸臂式洗滌頭，可調節，以達到最佳洗滌效率。這種洗滌頭的設計提供了更大的清潔覆蓋範圍，同時最大限度地減少晶片邊緣損壞。洗滌頭也可調節，用於清潔粒徑、洗滌壓力和往復運動。洗滌器采用三區洗滌設備，包括蒸發幹燥區、潔凈室轉移區和洗滌區。在蒸發幹燥區，晶片被空氣射流掃過，同時被超聲波振動作用擦洗，以獲得最大的芯片輪廓清潔度。潔凈室轉移區緩沖汽化顆粒，防止其在轉移過程中重新沈降在晶片上，而洗滌區則采用溫和的洗滌動作有效清除碎屑。除了三區洗滌系統外，LAM RESEARCH 2300 Coronus還設有流體輸送單元。這臺機器的設計目的是將適當數量和類型的清潔化學物質應用於晶圓。該工具能夠應用各種化學方法，如HFE、IPA和DI Water，同時準確監測和控制清潔參數，以確保最佳清潔結果。2300 Coronus專為高吞吐量操作而設計,提供了廣泛的過程控制選項。它配備了支持用戶可編程配方和日誌記錄的高級軟件包。該軟件還具有晶圓和掩模跟蹤、報警通知和自動關閉等內置安全功能。LAM RESEARCH 2300 Coronus是一種高效、可靠的精密有效晶片和面罩洗滌工具。