二手 LAM RESEARCH 2300 Coronus #293668768 待售

LAM RESEARCH 2300 Coronus是為高科技半導體工藝而設計的晶圓和掩模洗滌器。洗滌器使用由精密離子源陣列組成的專有系統，提供高精度的清潔和先進的等離子源技術，以最大限度地提高洗滌器和清潔功率。Coronus專為多種應用而設計，包括用於濕洗和幹洗、面罩清洗、晶圓洗滌和等離子體灰化。日冕由幾個主要成分組成。它有一個離子源陣列，電源，真空泵，和一個機械臂移動工具在基板表面。離子源陣列為極小的顆粒物提供了強烈的等離子體清潔，可以根據應用調諧到不同的波長和能量。電源控制等離子體強度，確保精確清潔，而真空泵保持工具和基板的內部清潔。機械臂允許自動擦洗,從而將晶圓或掩模的處理工作轉移到單個操作點。Coronus先進的等離子體清洗系統可以處理尺寸達12英寸的基板，清洗速度比手動洗滌快三倍。該工具還設計用於支持各種形狀、大小和組成的晶圓基板。Coronus強大的設計和先進的電子設備使它能夠有效地清潔甚至最具挑戰性的表面。Coronus具有極高的能效,其環保設計限制了有害氣體的排放,同時保持了高性能和低維護。該單元的模塊化設計和開放式體系結構使其易於維護和升級。此外,由於Coronus與各種自動化和過程監控系統兼容,因此能夠快速集成到現有的半導體生產線中。總體而言，2300 Coronus是一種可靠高效的晶圓和掩模洗滌器，專門設計用於半導體生產。它結合了先進的等離子體技術和自動化，提供精確的清潔和高性能的結果。Coronus的模塊化設計和靈活的體系結構使其成為能夠滿足各種需求的高能力工具。