二手 LAM RESEARCH DSS 200 #293595364 待售

LAM RESEARCH DSS 200 Wafer&Mask Scrubber是一種最先進的設備，設計用於清潔半導體制造過程中的薄膜蝕刻殘留物。該系統設計用於使用低磨料技術安全擦洗和還原多種基材，如矽片、介電膜和金屬面膜。LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200由兩個主要單元組成；一個基本單元和一個洗滌器單元。基地單元是一個開放式框架結構，具有人體工程學平臺，對人體工程學友好操作；可調量規控制；以及用於精確液體輸送的不銹鋼洗手盆。洗滌器單元包括所有必要的工具和清潔部件，包括一個可旋轉的晶片平臺、兩個洗滌墊和兩個彈簧加載的清潔手指，以實現精確和高效的清潔。DSS 200還配備了溫度、濕度和壓力控制單元，有助於確保有效洗滌的最佳條件。此外，該機設計有多種安全特性，如安全把手握把和自動關閉工具，以幫助確保安全操作。資產提供各種先進技術，以確保最高水平的清潔。最顯著的進步之一是Active Jet Purge™,它提供零磨料介質的高效擦洗,以確保最高水平的清潔。其他先進技術,包括熱成像、擴展擦洗技術和自動檢測Rotation™有助於確保每個基板都應用正確的擦洗參數。除了擦洗功能外,ONTRAK DSS 200還提供高級統計過程控制,使操作員能夠跟蹤和分析擦洗性能和清潔度結果。該模型還包括幾個方便功能，如自動啟動和自動停止模式，多工具加載和卸載，以及粒子計數監控。因此，LAM RESEARCH DSS 200為去除薄膜蝕刻殘留物提供了有效的解決方案，使其成為半導體制造質量和工藝控制的理想選擇。其主動清洗技術與先進的統計過程控制能力相結合，使LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200成為強大高效的洗滌設備，確保了質量和可靠的效果。