二手 LAM RESEARCH DSS 200 #293595365 待售

ID: 293595365
優質的: 1993
Scrubber 1993 vintage.
LAM RESEARCH DSS 200晶片和掩模洗滌器是一種高精度的工具,用於清潔晶片和掩模免受汙染。LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200提供無汙染操作,專為潔凈室使用。它由不銹鋼制成,壽命長,耐腐蝕性好。DSS 200采用旋轉刷和可移動/可更換除氣槳的組合,采用兩步洗滌工藝。這個分兩步的過程在保護其表面的同時,從晶圓和掩模中去除顆粒、鹽殘留物和其他汙染物。洗滌器還包括一個高流量過濾設備,有助於確保一致的結果。ONTRAK DSS 200提供了廣泛的洗滌參數,以滿足各種生產要求。其溫度範圍為20°C至40°C,溫度精度為+/-1°C,以及可變磨砂刷速度高達800 RPM。壓力和能見度傳感器可以檢測何時存在晶片或掩模,並進行相應的調整。聲感系統可防止殘留的超壓,確保結果一致。洗滌器的寬度為33英寸,高度為51英寸,使其在潔凈室設置中成為一個大而強大的裝置。LAM RESEARCH DSS 200的總重為690磅,運行在單一三相電源上。它有一個8英尺排氣煙囪出口,設計的空氣容積高達650立方英尺每分鐘。洗滌器還有一個直接驅動的電動機,用於更大的控制。LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200還具有多種安全功能。照明互鎖裝置確保操作員的安全,內置濾波器將在電源故障時保護洗滌器。洗滌器還包括一個高級診斷工具,提供前所未有的性能洞察力。DSS 200晶圓和蒙版洗滌器是清潔環境的理想選擇。它旨在提供可靠一致的性能,其先進的安全特性是一個額外的好處。對於卓越的洗滌體驗,ONTRAK DSS 200是理想的解決方案。
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