二手 LAM RESEARCH DSS 200 #9094834 待售

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ID: 9094834
晶圓大小: 5", 6" & 8"
優質的: 1998
Double-sided, post-CMP scrubber, 5", 6" & 8" (5) Pressurized chemical distribution vessels 110V, 1 Phase, 60Hz 1998 vintage.
LAM RESEARCH DSS 200是一種晶圓和掩模洗滌設備,設計用於半導體和計量過程中制造集成電路等元件。它是一種人工工藝,采用溫和的堿性清潔劑、表面活性劑和空氣的組合,從晶圓和口罩中清洗和去除所有類型的細顆粒物汙染物。LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200系統具有兩個階段的清潔周期,從成像評分預清潔階段開始,從晶片和口罩表面清除持久的微粒,如多余的暴露材料。接下來是最後的手動清洗階段,將晶片和面膜表面精心擦洗,並用精選的溶劑和清潔溶液擦拭。此過程用於清除任何在預清潔階段後可能留下的細小顆粒、汙垢、灰塵和油。然後清除幹凈的幹燥空氣,完成清潔周期,幹燥晶片和口罩,準備下一個處理階段。該設備設計用於工業環境,並與標準半導體和計量設備集成,使其易於融入現有工藝。它堅固可靠,具有NEMA 12的高安全等級,適合在危險條件下使用,包括使用可能易燃材料的區域。DSS 200設計緊湊,易於操作,並且需要最少的操作員培訓。它配備了提高流程效率和準確性的幾個功能,如QuickClear軟件,允許在批次之間快速切換和重置機器,以及Masked Area Monitor,用於自動檢測蒙版上未暴露的區域,提高準確性,減少與手動洗滌相關的錯誤。該工具還具有一系列易於使用的安全功能,包括一個安全門互鎖資產,以防止清潔周期中的意外操作,以及一個煙罩,以容納過程中使用的任何危險材料。最後,ONTRAK DSS 200模型是一種可靠、堅固、高效的晶圓和掩模洗滌設備,設計用於工業環境。它非常適合去除晶片和掩模中的細顆粒汙染物,並具有一系列的生產力和安全特性,使其易於使用和操作。
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