二手 LAM RESEARCH DSS 200 #9390058 待售

LAM RESEARCH DSS 200是一種先進的晶圓和掩模洗滌器，用於清洗和洗滌任何半導體晶圓和光掩模表面。這款洗滌器采用多種清潔技術，旨在確保徹底清潔，同時避免對敏感晶片和光掩層造成損害。LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200采用超高速洗滌和Er：YAG激光清洗相結合的方式運行。在擦洗過程中,由精密電動臂組件控制的一系列擦洗頭在晶圓和光掩模表面移動,額定速度高達18米/秒,即每分鐘6萬次擦洗沖程。這種洗滌作用是通過使用三把由高硬度聚合物刷毛制成的反向旋轉刷子來實現的。每把刷子都是單獨控制的，並針對壓力、角度和速度進行了獨特的編程，以確保晶圓或光掩模的表面得到均勻清潔。Er： YAG激光器還用於清潔晶圓和光掩模表面。激光可以去除處理過程中可以附著在晶圓和光掩模表面的小顆粒和汙染物。激光通過由內部光定向系統精確控制的聚焦光束傳遞到晶圓或光掩模表面。這樣可以去除在擦洗過程完成後殘留在表面上的任何顆粒。DSS 200可用於清潔多種半導體晶片和光掩模，包括低k、SOI和基板膜。洗滌器是完全自動化的，它的控制邏輯可以根據用戶的具體需求量身定制。此外,洗滌器使用所有行業標準連接協議,包括串行、以太網和SCSI。ONTRAK DSS 200晶片和掩模洗滌器是一種先進的工具，旨在提供最高級別的晶片和光掩模清洗。它的洗滌和激光清洗相結合，使它能夠去除即使是最頑固的汙染物，同時避免對敏感的器件層造成損害。LAM RESEARCH DSS 200是半導體制造商的重要工具,他們需要精確可靠地清潔晶圓和光掩模表面。