二手 LAM RESEARCH DSS 200 #9392384 待售

LAM RESEARCH DSS 200是為半導體處理應用而設計的自動化晶圓和掩模洗滌器。它通過去除晶片和掩模中的表面顆粒物汙染，用於晶片和標線清潔。LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200包括一個密封的磨砂室，使用過濾空氣來減少空氣中的汙染物。它采用洗滌系統，采用單級雙葉片葉輪來溶解顆粒物汙染物。晶片和掩模放置在可轉動的洗滌主軸上,該主軸按順序為每個晶片和標線建立索引,從而確保徹底清潔。DSS 200在110V AC上運行,耗電量高達500瓦,負載容量高達40個晶圓和掩碼。磨砂室尺寸為17 "W x 21" D x 18 "H，磨砂半徑為2英寸，晶圓懸掛角度為80度，均勻擦洗。作為過程控制的附加措施，洗滌壓力可以在0.5到5 psi的氣壓之間調節。一旦晶片和標線裝入磨砂室，可編程控制器將接管洗滌過程。整個清潔周期通常包括預濕、擦洗、後濕和幹燥階段。超聲波能量與洗滌空氣相結合，有助於溶解汙染物。洗滌後，晶片和口罩通過加熱的幹燥室，在那裏空氣再循環並排出以除去水分。綜上所述，ONTRAK DSS 200是一種自動洗滌系統，旨在在半導體加工應用中清洗晶圓和掩模。它采用洗滌系統、單級兩葉葉輪、可編程控制器和加熱幹燥室，全部由密封室內過濾空氣支撐。洗滌壓力、循環參數、排氣控制都可以調節，提供最大的工藝控制和可靠的清潔效果。