二手 LAM RESEARCH / ONTRAK DSS 200 Series 2 #293605205 待售

ID: 293605205
Scrubber.
LAM RESEARCHY/ONTRAK DSS 200系列2晶圓和掩模洗滌器設計用於晶圓和光掩模清潔。它采用了一種特別設計的洗滌方法,提供高效、高質量的清洗,並具有非凡的重復效果。洗滌器能夠從矽、石英或低k介電基板等基板上清洗一系列材料,如抗渣、場氧化物和無機顆粒。ONTRAK DSS 200系列2是一款全自動晶圓和光掩模洗滌器,可提供卓越的清潔性能。洗滌器能夠清洗六和十二英寸晶片以及十二英寸光掩模。它利用一種稱為DSS(動態洗滌設備)的專利技術來提供一致、高質量的清潔和可重復的結果。該系統使用兩對緊密間隔的線性執行器,它們以精確、預設的速度和力在洗滌表面上移動晶圓和光掩模。這提供了非常精確、可重復的清潔結果。洗滌器采用精密、高容量的液體輸送裝置,保證了清潔的一致性和有效性。這臺機器允許用戶精確控制清潔液、壓力和洗滌力的數量,以獲得最佳效果。LAM RESEARCH DSS 200系列2還集成了直觀的控制工具和用戶友好的圖形界面,可輕松設置、編程和操作。洗滌器還具有先進的冷卻設備,有助於保護敏感基板免受熱損壞。此外,洗滌器還配備了泄漏檢測模型和廢物收集設備,確保洗滌器以安全環保的方式運行。總體而言,DSS 200系列2晶圓和掩模洗滌器是工業和研究部門的絕佳選擇。它提供高效、可重復、高質量的清潔,且熱損傷最小。全自動設計結合直觀的控制系統和用戶友好的圖形界面,使這款洗滌器易於使用和維護。因此,它是廣泛應用的絕佳選擇。
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