二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Synergy #293587490 待售
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單擊可縮放
ID: 293587490
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Scrubber system, 8"
Clear band
Thick rollers
Megasonic
Clear glass over input and brush box
Dark glass over SRD and output
1997 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK Synergy是一種晶圓和掩模洗滌器，設計用於從半導體晶圓和光掩模表面去除顆粒，用於創建集成電路輪廓。該設備集成了ONTRAK洗滌器和LAM RESEARCH Robotic Wafer洗滌器兩種經過驗證的洗滌器技術，以提供單臺無與倫比的洗滌器性能。LAM RESEARCH/ONTRAK洗滌器采用高速紡紗刷，非常適合去除晶圓或光掩模表面的頑固顆粒和小缺陷。刷子通過旋轉的漿液溶液提供動力，該溶液噴灑到表面並隨碎屑一起流走。顆粒和碎屑被有效地吞沒，並用泥漿從表面提起。這項技術對於用幹晶片或掩模洗滌系統清除難以去除的較小顆粒和殘留物最為有效。ONTRAK晶片洗滌器是一種機器人控制系統，提供受控、均勻的洗滌力和運動。這種類型的單元是清除大型面板洗滌應用中汙染物所必需的，也是生產晶片批量洗滌的理想選擇。它使用無刷馬達，產生波刷的振蕩運動，用於晶圓和光掩模前側擦洗，由機械擦洗臂控制。刷刷運動旨在以一致和有效的方式有效地掃過表面，從而減少了擦洗所用的時間，並改善了顆粒的消除。這兩種技術在ONTRAK Synergy機器中的結合，在擦洗晶片和光掩模表面時，其位移或表面特征最小，同時也提供最大程度的顆粒表面去除。特別適用於需要保持高粒子量、臨界特征或高線密度的應用。這種先進的洗滌工具非常適合半導體晶圓和光掩模的制造。
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