二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Synergy #9384775 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK Synergy是一款前沿晶圓和掩模洗滌器，旨在為半導體生產應用提供高質量、精確的洗滌解決方案。該系統結合了ONTRAK和LAM RESEARCH的先進技術,以最大限度地提高效率和有效性。該洗滌器采用雙軸機器人手臂和精細螺距執行器，配備低壓、低流量、可編程的刷頭噴霧系統，旨在以最少的材料使用提供最佳的洗滌效果。機器人承擔整個工作負載，允許晶圓表面的一致、均勻擦洗。該解決方案還利用帶主動粒子捕獲過濾器的帶靜電、過濾、電子加熱的幹燥機。這樣可以確保晶片迅速完全幹燥，不會留下殘留物。洗滌器的設計具有最大的靈活性,可容納大多數現有晶圓直徑可達300毫米,掩模尺寸可達220毫米。它還能夠在一次運行中同時清理多達8個晶圓和4個掩碼。它的設計還確保了高達6,000晶圓/小時的非常高的洗滌吞吐量。ONTRAK Synergy洗滌器為半導體生產過程帶來了便利和準確性,其高度可定制的自動化過程流旨在滿足特定的生產要求。高級功能允許多種配置,例如高洗滌/烘幹機循環、可針對各種表面幾何形狀進行調整的清潔噴嘴、計算機控制的幹預點等等。洗滌器的設計符合自動化設備設計的最高標準，由特定於應用程序的要求驅動。在需要進行任何預防性維修之前，它每年能夠維持2 000多萬件零件。通過使用高級安全功能（如冗余傳感器、聯鎖以及自動錯誤檢測和恢復算法）可以確保這一點。在整個設計過程中,LAM RESEARCH Synergy洗滌器致力於提供經濟高效的解決方案。低運營和維護成本,加上靈活性和先進的自動化清潔工藝,使其成為生產級洗滌解決方案的最佳選擇之一。