二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Synergy #9410727 待售

ID: 9410727
System.
LAM RESEARCH/ONTRAK Synergy是半導體工業中使用的晶圓和掩模洗滌器,用於提高半導體器件的可靠性和均勻性。該設備采用ONTRAK激光燒蝕技術和LAM RESEARCH Technologies洗滌系統的專門組合,以減少半導體制造過程中使用的臨界掩模和晶片上的缺陷發生率。系統使用的激光燒蝕工藝精確地去除了設備制造過程中使用的金屬、聚酰亞胺和低k介電材料的表面汙染和圖樣缺陷。這個過程提供了一致的去除,而不影響底層基板。激光燒蝕過程完成後,該裝置改用LAM RESEARCH/ONTRAK洗滌技術,促進接觸面罩圖樣的均勻去除,減少缺陷顆粒的發生。ONTRAK Synergy機器全部以一種緊湊的設計包裝在一起,非常適合在各種各樣的半導體制造環境中使用。它還采用了自動無接觸清潔工藝,以確保與正在清洗的部件的接觸最小。這樣既可以防止任何潛在的汙染發生,也可以確保更清潔的部件。此外,該工具還利用一系列高級軟件功能來精確控制資產參數,從而獲得各種半導體應用程序的最佳結果。該模型在設計時考慮了安全性,具有多種特點和系統,以增強安全性,包括激光互鎖系統、光簾和攝像頭監控。這些設備還符合各種法規和標準,包括SEMI、安全與健康管理局和ISO概述的法規和標準。總體而言,LAM RESEARCH Synergy是一個高性能的清潔系統,旨在減少半導體制造過程中使用的臨界掩模和晶片上缺陷顆粒的發生率。該裝置采用先進的激光燒蝕和洗滌技術相結合,確保均勻一致的清潔,並保持表面完整性。此外,緊湊的尺寸和自動化的工藝使其非常適合在各種制造環境中使用。該機還采用了多種安全功能,以保證人員和設備的清潔環境安全。
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