二手 MAT 1207BWA #9153452 待售

MAT 1207BWA是一種晶片和掩模洗滌器，旨在為光掩模提供氧化保護和清潔。這種洗滌器在完成全部蝕刻或清潔過程後，可以徹底安全地清除口罩中殘留的殘留物。它具有各種功能,可提供卓越的清潔性能,如頂端加載晶片和掩模洗滌平臺、強大的多級清潔工藝以及集成的次環境溫度控制設備。洗滌器采用高功率、多級清洗工藝，混合使用溶劑和洗滌劑溶液，並采用機械作用徹底清潔晶片和面膜表面。此過程在蝕刻或清潔過程完成後，清除晶片或掩模表面殘留的各種汙染物如粉塵、碎屑、顆粒、殘留的光致抗蝕劑和單體。隨著洗滌器平臺的移動，刷子旋轉，讓洗滌劑溶液擦洗晶圓和面膜的表面。擦洗工藝高效有力，即使是最頑固的殘渣也能清除。1207BWA洗滌器配有亞環境溫度控制系統，可在整個分子清洗過程中精確控制溫度。這種溫度控制有助於保持表面的完整性，同時也提供了一個最佳的環境，讓洗滌劑溶液提供深度和有效的清潔。這種溫度控制還通過保持晶片和掩模的表面涼爽來防止形成冷凝，這可能導致化學汙染。為了保證晶片和面膜的最高潔凈度，洗滌器還配有一個內置的空氣凈化裝置。這臺凈化機能夠從空氣中除去塵埃顆粒、碎屑和其他殘留的光致抗蝕劑和碎屑，以防止晶片和掩模在洗滌過程中再汙染。MAT 1207BWA晶片和掩模洗滌器為所有光掩模提供卓越的清潔和氧化保護。它結合了強大的洗滌工藝和精確的溫度控制工具，以確保最佳的表面清潔度，而其空氣凈化資產則消除了灰塵、碎屑和任何可能導致進一步汙染的殘留光致抗蝕劑或碎屑。該洗滌器具有先進的特點，是任何光掩模清洗工藝的可靠高效的解決方案。