二手 MTI MULTIFAB #97291 待售

MTI MULTIFAB
ID: 97291
晶圓大小: 6"
Coater Set up for 6" wafers with cassette to cassette transfer using robotic handler Side dispense for liquid HMDS dispense Tritec resist dispense Coat bowl Pneumatic hot plate, second hot plate available at additional cost Spare parts package included ($5,000 value) Additional dispense such as backside EBR, backside wash, top side EBR or bowl wash are available.
MTI MULTIFAB是一種高效、高效的晶圓和掩模洗滌器溶液。這種洗滌器旨在幫助清除電子芯片制造過程中可能捕獲的殘留顆粒和雜質。MULTIFAB是半導體工業中使用的一種工具,用於生產出質量最高、性能可靠的芯片。洗滌器的工作原理是使用可行的水、溶劑和氣流組合。一旦晶片和/或蒙版被放置在洗滌器中,清潔過程就開始了。分配水和/或溶劑是為了幫助溶解制造過程中可能捕獲的顆粒和雜質。一旦顆粒和雜質被溶解,一個強大的氣流被用來幫助擦洗遠離晶片和/或面罩。為了確保有效和一致的結果,洗滌器提供了一種可編程的循環布局,允許根據材料和顆粒的類型對晶片和/或掩模進行量身定制的清洗。洗滌器具有在清潔過程中移動晶片和/或口罩的有效輸送器系統。這種輸送機系統有助於將晶片和/或口罩的人工處理風險降至最低,從而確保它們在運輸過程中不會受到進一步汙染。洗滌器還配備了多個洗滌噴嘴,以不同角度放置,確保了最佳有效的徹底洗滌。MTI MULTIFAB還配備了幾個使用增強功能。這包括全面的配方設置、過程中傳感技術、可調參數、組合洗滌功能和數據記錄功能。這樣可以確保洗滌器可以根據某些晶片/掩碼的特定要求進行調整,同時還可以記錄其使用情況的數據。MULTIFAB是一種高效可靠的洗滌器溶液,用於去除晶圓和掩模中的顆粒和雜質。水、溶劑、氣流的結合加上可調參數、輸送機系統、數據測井能力,共同發揮作用,確保生產出質量最高的芯片。
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