二手 MTI MULTIFAB #97293 待售
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ID: 97293
晶圓大小: 6"
Developer
Set up for 6" wafers with cassette to cassette transfer using robotic handler
Develop bowl
Pneumatic hot plate, second hot plate available at additional cost
Develop module can be set up with puddle dispense or fan spray dispense
Develop module will be set up with one side dispense for DI water
Spare parts package included ($5,000 value)
Additional dispense such as backside EBR, backside wash, top side EBR or bowl wash are available.
MTI MULTIFAB是一種晶片和掩模洗滌器,提供有效、一致和可重復的晶片和掩模清洗。它利用電化學工藝、超純水洗滌、氣相洗滌的組合,安全快速地去除表面顆粒、汙染和殘留物。MULTIFAB專為提供最大清潔性能而不會損壞敏感表面而設計。結合多種清洗技術,MTI MULTIFAB是目前市場上最通用、最堅固的洗滌系統。MULTIFAB旨在有效清潔各種表面,如二氧化矽、氮化矽、玻璃或金屬。它還會清洗各種汙染物,如光致抗蝕劑、蝕刻殘留物和粒子。它旨在去除有機物或無機物的殘留物。MTI MULTIFAB所采用的電化學工藝涉及使通電離子通過溶液,以吸引和分解底物或掩模表面上的化學鍵。這有效地清除了表面顆粒、汙染物和殘留物。洗滌和化學工藝的結合確保了有效、一致和可重復的清潔性能。除了電化學工藝外,MULTIFAB還利用了超純凈的水洗滌工藝。它使用超純水來松開基板或掩模表面的顆粒。這一過程使它們容易受到電化學過程的影響,並迅速從表面清除汙染物。MTI MULTIFAB還利用先進的蒸氣相洗滌工藝來有效清潔基材和面膜。這一過程利用超純凈水的細霧噴灑到表面,以便深入到表面,破壞任何汙染物或殘留顆粒。先進的回收技術允許長時間連續清洗晶片和口罩。MULTIFAB旨在保持低運營成本,同時保持高質量的結果。它利用大容量的液罐,允許延長洗滌周期,同時也允許經濟高效的操作。它還具有先進的用戶界面,允許快速、輕松地執行操作和維護。MTI MULTIFAB為各種晶圓和掩模材料提供可靠高效的清洗。它結合了工藝、先進的液罐和用戶界面,確保了經濟高效的解決方案,能夠快速高效地清潔基板和口罩。它是市場上最通用、最健壯的洗滌系統。
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