二手 PLASMA ECS-2000P #9249383 待售

PLASMA ECS-2000P晶片和掩模洗滌器利用了廣泛的先進技術來產生優異的效果。洗滌器的特點是獲得專利的5區旋轉刷子，它不僅消除晶圓和掩模表面上的顆粒，而且還輕輕擦洗和拋光表面，以達到均勻的光潔度。脈沖等離子體清洗設備可以快速清除晶片表面的顆粒，防止先前過程中的汙染堆積。此外，洗滌器采用超聲波清洗技術，進一步擦洗和拋光晶圓和面膜表面。光束傳感器被集成到ECS-2000P中，以檢測晶圓和掩模表面上的粒子和碎片。傳感器使用三波長激光光學器件精確識別和測量小至10nm的粒子大小，從而能夠快速去除。傳感器與洗滌器完全集成，保證了高質量、無顆粒的效果。等離子體ECS-2000P是為可靠性和耐用性而設計的。其堅固的結構設計可承受最惡劣的制造環境,其易於清潔的工藝室可確保無論環境如何都能獲得最佳效果。洗滌器利用許多先進的安全功能為人員和產品提供最佳安全。該系統設有故障安全操作單元、泄漏檢測和預防措施以及單獨密封的化學品密封通道，以便安全處置。該機還擁有先進的濕度控制工具，以確保無論環境如何都能得到一致的清潔效果。ECS-2000P的工作溫度範圍很廣,為1至99攝氏度,包括各種通信功能,可與其他系統連接和集成。用戶界面是直觀的，包括觸摸屏功能，以簡化洗滌過程。洗滌器還配備了用於遠程訪問和監視的以太網端口。PLASMA ECS-2000P確保滿足並超過晶圓和掩模洗滌行業標準。它結合了先進的技術、先進的安全特性和可靠的結構，是精密清潔操作的理想選擇。