二手 RUDOLPH FE VII/IV #9398260 待售

RUDOLPH FE VII/IV
ID: 9398260
晶圓大小: 8"
優質的: 2002
Film thickness measurement system, 8" 2002 vintage.
RUDOLPH FE VII/IV是一種用於半導體制造的晶圓和掩模洗滌器。該裝置由四個控制其洗滌、監視和衛生能力的獨立電機提供動力。洗滌工藝旨在幫助減少制造過程中基板上的汙染量。它使用正在申請專利的旋轉臂技術,圍繞整個基板表面旋轉擦洗頭。監控功能使操作員能夠觀察洗滌臂的狀態並輕松進行調整,而衛生功能則有助於確保基板的最高清潔度。FE VII/IV能夠擦洗直徑達18英寸、厚度達1.36英寸的晶片。洗滌工藝是最先進的,利用硬化的硬質合金和柔軟的硬毛刷來清潔基板表面的顆粒。這些旋轉的刷子努力地穿透到人工擦洗可能不容易看到的區域。洗滌工藝也可以進行編程和定制,以適應特定的工藝要求。FE VII/IV還配備了1000瓦真空系統,以收集從基板上擦洗掉的任何顆粒。這種真空系統能夠減少空氣中的顆粒進入周圍環境,提高基板表面的效率和清潔度。FE VII/IV的其他特點包括結構緊湊和能效。緊湊的車身便於安裝到位,並且在設施中需要的空間也很小。該設備還僅在12V DC上運行,減少了其他洗滌解決方案的能耗。RUDOLPH FE VII/IV晶片和掩模洗滌器是半導體制造過程中保持基板清潔的有效解決方案。旋轉擦洗臂、監視和衛生能力以及能效使其成為任何制造工廠的頂級解決方案。
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