二手 SAWA SC A22 #9157623 待售

SAWA SC A22是一種自動化晶片和掩模洗滌器，旨在以最小的磨損快速去除晶片和掩模等平坦表面的顆粒和粘附殘留物。這種洗滌器在生產過程中可用於清潔光掩模、裸矽晶片和磨料晶片。還用於制備用於後期生產處理的基材，如電鍍、濕洗或粘合。SC A22配備了一系列刷牙和真空技術，以提高清潔效率，減少顆粒產生，增強表面準備。SAWA SC A22利用了強大的雙刷子設備，包括具有高頻振蕩的軟、中、硬刷毛的刷墊，以攪拌和懸浮粒子遠離晶圓和光掩模表面。這種雙刷子系統集成了高效真空單元，以確保有效去除顆粒，同時仍能防止顆粒重新沈積。還集成了氣刀，方便沖洗和吹散碎屑。洗滌器每個周期可容納四個晶片和四個口罩。基板固定裝置鎖定在一個平移驅動機器中，該機器在基板固定裝置和擦洗頭之間移動擦洗臂。洗滌頭可以調整，以允許對刷牙和真空功能的精確控制。這允許根據特定應用程序優化各種流程參數。內置壓力傳感器還可確保洗滌壓力在預編程設置內。SC A22配備了用戶友好的控制工具，包括監控、編程、診斷和OEE（整體設備效率）功能。控制資產采用12.1英寸液晶觸摸屏,內置遠程訪問功能,可實現長途操作。機器還可以被編程為在啟動時自動運行，存儲的清潔配方可以被添加和編輯以進行重復運行。內置的操作員模型警報會通知操作員任何不規則的情況。SAWA SC A22是廣泛應用半導體的理想洗滌器。這臺機器可靠、可重復、易於操作和維護。因此，這種洗滌器非常適合用於需要高水平工藝控制和生產線穩定的生產線。