二手 SSEC 3300 #161552 待售
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已售出
ID: 161552
Resist Coater and Developer System, 6"
Cassette to cassette
(1) resist coat module
(2) developer stations
HMDS
(3) hot plate ovens
(1) cool plate
208V/3/60hZ/30A
Includes Dell Computer and Flat Panel Monitor
2006 vintage.
SSEC 3300是一種晶圓和面膜洗滌器,設計用於清潔和剝離薄而易碎的表面。它是一種高容量、高速洗滌器,一次最多可處理150個晶圓或30個掩模。它使用由柔軟、非磨料材料制成的磨盤,如毛氈和閉環水系統,以提供受控、一致的清潔動作。磨盤在垂直軸上旋轉,可調節到五個速度,允許進行定制的清潔操作,該操作足夠輕柔,以防止在清除汙染物時造成表面損壞。3300的設計包括一個圓形洗滌器頭,夾在晶圓或面膜上,並噴灑水基清潔溶液。這種洗滌作用還得到一個可調節的淋浴噴嘴的補充,該噴嘴允許釋放壓力,從而實現控制和一致的清潔。洗滌器采用高速液冷電機進行高效處理,最大洗滌器轉速高達36,000 RPM。SSEC 3300還有一個計時器,最多有三個定時控制周期,允許精確和可重復的清洗。一個獨立的水閥可以方便地控制洗滌流量,使不同濃度的清潔溶液能夠達到理想的清潔效果。有一個壓力表可用來監測流量,從而可以控制洗滌力和壓力。3300是為安全起見而設計的,其特點包括非滑動底座、在洗滌器操作時自動關閉的安全開關,沒有適當的晶圓或面罩,以及內置幹燥機,以確保適當幹燥和避開水斑。此外,洗滌器還有一個排氣系統,以確保適當的通風和酒精檢測,以檢查水系統中的乙醇汙染。總體而言,SSEC 3300是一種高性能、可靠的晶圓和掩模洗滌器,可有效、安全、輕柔地從細膩的表面清除有害汙染物。它結合了可調速度、壓力和液冷電動機,使其成為任何晶片或面罩清洗程序的理想選擇。
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