二手 SSEC 3300 #293593176 待售
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SSEC 3300晶片和掩模洗滌器是一種高精度、自動化的清潔設備,用於去除細膩半導體晶片和光掩模毛坯中的顆粒汙染。該系統采用先進的機器人技術、PLC控制器和PC接口,實際上保證了清潔的一致性和準確性。3300采用了兩種洗滌技術之一:接觸洗滌或局部洗滌。接觸擦洗過程利用由預先編程的CNC軟件控制的多個機械臂,這些軟件設計為沿著指定路徑移動。當每個手臂沿著所需的路線移動時,安裝在機器人手臂末端的洗滌頭使用滾筒擠壓機從晶圓中除去顆粒。局部洗滌是一種更為精確的點源洗滌工藝,通常用於機械清潔極其細膩的基板,如光掩模毛坯。在局部洗滌過程中,洗滌動作是由安裝在固定裝置上的洗滌頭產生的,該洗滌頭配備了多個小型清潔微型洗滌器陣列。此外,局部洗滌提供了一種冰冷卻功能,使過程能夠在非常低的溫度下進行,通常剛好高於冰點,從而進一步減少損壞基板的機會。在這兩個過程中,液體清洗溶液通過引入新鮮液體並清除廢液和顆粒碎片的再循環裝置輸送到洗滌頭。廢液通過內置過濾機清洗,再重新引入洗滌過程。SSEC 3300在晶圓尺寸、幾何形狀、化學相容性、模具變化和化學濃度方面提供了充分的靈活性。該工具也可以很容易地調整,以滿足個別的用戶規格。當與全面的通信和操作員通知系統相結合時,3300提供了高度的可靠性和清潔精度。SSEC 3300的專利設計大大減少了經常與手動系統關聯的用戶生成的錯誤。自動清洗過程還大大減少了操作人員執行清洗周期所需的總時間,節省了寶貴的資源。此外,優化化學濃度和洗滌作用會產生更清潔的晶片、更長的零件壽命和更長的模具壽命。因此,3300因其可靠性、靈活性和卓越的結果而受到許多用戶的青睞和青睞。
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