二手 SSEC 3300 #293628379 待售

SSEC 3300是由Surface Processing Technologies（SPT）開發的晶圓和掩模洗滌器。它是一種自動化機器，旨在徹底清潔和去除半導體和光掩模表面的粒子。堅固、自封閉的設備可為晶圓和器件表面提供高精度的顆粒和除塵,從而實現快速且可重復的結果,使客戶滿意。該系統采用表面清潔技術和改進的空氣輔助工藝，以清除最小的顆粒和汙染物，使基板和裝置表面保持清潔和不受影響。3300設計用於半導體、數據存儲器、光電、顯示器制造等行業。采用三階段清洗工藝；第一階段涉及以0.05毫升/分鐘的速度排水。第二級是帶有過濾器的旋轉洗滌器以清除碎屑，而第三級是霧化器和幹燥器以蒸發水分和前兩級後留下的顆粒。SSEC 3300結合了直觀的觸摸屏顯示來監視清潔過程。該單元包括自動潤濕、洗滌、幹燥功能以及實時粒子計數器監控和最多500組以前的結果的存儲容量。此外，該機采用低氧擴散室，並配有EU302過濾排氣機，將空氣中的顆粒保持在最低限度。由於3300的空氣輔助工藝,晶圓和器件表面不會受到損壞。這消除了手動洗滌的需要,並提高了過程的準確性、安全性和環境合規性。該工具還能夠每小時快速清潔多達30個晶圓，並且在40°C的環境溫度下運行，沒有額外的環境控制。SSEC 3300易於維護,並且需要最低限度的維護才能繼續運行。它采用自我檢查資產和錯誤指示設計,為質量標準嚴格的企業提供完整的模型控制、準確性和可重復性。設備還能夠進行動態定制和安裝,使每個客戶都能根據自己的特殊需要定制系統。