二手 SSEC 3300 #9225597 待售

SSEC 3300是由Suss MicroTec, Inc制造的晶圓和面膜洗滌器。它旨在減少晶片和掩模在設備制造過程中應用光致抗蝕劑之前的表面汙染。3300采用超聲波和噴射洗滌技術相結合，以最小程度地損壞基板，達到高質量的效果。SSEC 3300運行時功耗為5.5kW,額定壓力為3.2MPa。它提供了多達128個不同清潔周期設置和5個噴嘴配置的清潔變量。該單元配備了可調振蕩頻率，提供了良好的洗滌器參數控制。洗滌器設計有直徑200毫米的清潔床，容量可達20個晶圓/掩模。它還有一個3軸機械臂，用於裝卸晶片。3300使用渦輪分子真空泵，以便在封閉的腔室中創造高水平的真空。這對於確保在洗滌過程中從晶片中完全去除顆粒、碎屑和其他小顆粒是必要的。真空功能也將洗滌溶液推入目標區域。這使得擦洗過程非常有效，確保沒有留下的無菌口袋。洗滌器的壓力控制設備旨在確保洗滌壓力在每個循環過程中均勻分布在晶圓和掩模的整個表面上。SSEC 3300還有一個監控系統，對操作壓力、水流率、溫度等參數提供準確監控。這確保了一致的高質量結果。3300采用可編程邏輯控制器設計，用於控制和監控洗滌器的所有參數。這有助於提供一致的結果和高效的操作。此外，該裝置還有一個先進的紫外線LED裝置，用於輻射滅菌。這臺機器可以在擦洗後對晶片和口罩進行消毒，以盡量減少汙染。總體而言，SSEC 3300是一種有效的晶片和掩模洗滌器，其設計目的是在設備制造過程中使用光致抗蝕劑之前減少汙染。憑借其先進的技術，它提供了出色的表面清潔，以及精確的監測和控制參數。它旨在提供高效的操作、一致的結果和高質量的完成。