二手 SSEC Evergreen 300ML Series III #9230467 待售

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ID: 9230467
晶圓大小: 12"
Wafer / Mask scrubber, 12" Up to 3000 PSI Windows interface Non-adjustable legs Maintenance manuals are included.
SSEC Evergreen 300ML Series III是一種全自動晶片和掩模洗滌器,設計用於清潔和制備光掩模、網罩和其他扁平LSI組件。該洗滌器配有兩個獨立的清潔室,分別提供校準和可控的清潔和洗滌操作。第一種是註洗室,采用註射法補充液體,為洗滌器的清潔作用提供動力。洗滌器配有電子調節的背壓閥和噴嘴,用戶可以精確控制和改變流體分布,最大限度地提高清潔效率,同時最大限度地減少顆粒在晶片表面的重新分布。第二室是面膜和晶圓室,旨在為面膜和晶圓提供清潔環境。該腔室包含兩級洗滌器機構,提供同時緊湊的濕洗和全表面濕洗,電解等離子弧清洗和加速沖洗動作。兩級洗滌器機構可自由調整,允許特殊的清潔模式,提供靈活高效的清洗過程。洗滌器進一步配備了粒子觀察窗口,允許用戶監控顆粒大小和數量。洗滌器還安裝了用戶友好的圖形用戶界面(GUI),提供了簡單的操作和簡化的遠程設置。洗滌器可方便、安全地操作和維護,因為它是為自我診斷而設計的,並具有多個操作和安全監控警報。總體而言,Evergreen 300ML Series III晶片和蒙版洗滌器提供高效可靠的清潔過程,確保在制備過程中部件的最佳質量。這款功能強大的洗滌器具有自動化控制和功能豐富的特性,是各種行業的理想選擇,在清潔和制備光掩模、標線和其他易碎的LSI組件時,都需要精確度和均勻性。
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