二手 SSEC Evergreen 50 #161265 待售

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ID: 161265
晶圓大小: 8"
Mask and wafer scrubber, 8" Cassette to cassette spin developer PC Controller with pull down menus for controlling all process parameters User specific routines or recipes are stored on hard drive.
SSEC Evergreen 50 Wafer&Mask Scrubber是一款用於半導體制造的高性能設備,專為最苛刻的半導體制造和研發活動而設計。該系統旨在提供卓越的清潔、研磨、拋光和洗滌精度。Evergreen 50是一個用途廣泛的單元,能夠處理晶圓尺寸達8英寸的晶圓和掩碼以及主要的扁平應用,並且可以處理多種晶圓材料,包括矽、SOI、GaAs、SiGe、InP等等。該機器設計為以高達16,000 RPM的速度運行,可提供高達1.2 μ m/分鐘的高拆卸速率,並可選擇多種清潔和拋光介質、墊子和拋光。SSEC Evergreen 50具有HiFlo™的Multi-Station循環氣流和液體霧化平臺,可控制過程、重復性和微調清潔過程。控制工具包括帶有Fusion™軟件包和遠程控制操作的PHS Group伺服驅動器。新開發的SSEC集成軸承資產(ISB)提供了卓越的剛度、準確性和可重復性,可減少動態誤差並改善表面質量。其集成軸承模型和一流的設計憑據消除了傳統軸承定位的不準確性,改善了平整度和缺陷控制。Evergreen 50專為即插即用的能力而設計,並捆綁了廣泛的附件,包括晶片盒、晶片碗和可快速方便地裝卸晶片和口罩的口罩盒。除了卓越的性能外,SSEC Evergreen 50還提供出色的光學和散熱性能以及較低的功耗率,這兩者都有助於將運營成本降至最低。該設備的設計符合最苛刻的規格,包括國際半導體技術路線圖的規格,確保了可靠和一致的結果。總之,Evergreen 50是一款先進、高性能的晶圓和掩模洗滌器,專為最具挑戰性的半導體制造和研發應用而設計。它是晶片清洗、研磨和拋光的理想選擇,因為它具有出色的清潔和拋光效果,具有優異的光學和熱性能,同時還具有較低的功耗。所有這些使得SSEC Evergreen 50成為半導體制造專業人士的首選。
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